返回主页 | 下载中心
 
师资力量
光电信息科学与工程
当前位置: ag亚洲集团 ag85856首页>>师资力量>>光电信息科学与工程>>正文
鹿国庆
2021-10-09 19:56     (点击: )
分享到:

鹿国庆:博士,讲师

邮箱:lugq_ciomp@163.com

研究方向:极紫外光刻Mo/Si多层膜设计及表面污染研究

个人履历

鹿国庆,1986年10月生,江苏徐州人,博士,讲师,2014年博士毕业于中国科ag亚洲集团 ag85856大学,现任职于光电信息科学与工程系。主要承担《工程光学》、《Matlab软件应用》等专业课程的教学任务。主要研究方向为极紫外光刻Mo/Si多层膜设计及表面污染研究等,在国内外学术刊物上发表论文5篇、10余篇实用新型专利和计算机软件著作权。

承担项目

1.基于拉曼散射的海水温度遥感技术研究,江苏省海洋资源开发研究院,开放基金课题,JSIMR202025,2021-2022,在研,主持。

学术及科研成果

论文

1.吴义恒,鹿国庆,何敏,占生宝,沈永才.复折射率介质一维光子晶体的透射特性[J].吉林大学学报(理学版),2017,55(1):150-153.(CSCD)

2.Yiheng Wu,Fei Cheng,Yongcai Shen,Guoqing Lu,Lingli Li.One-waytransmission through merging of magnetic defect state and optical Tamm states[J].Optik, 2016, 127(8):3740-3744.(SCI)

3.鹿国庆,吴义恒,李伶俐,卢启鹏.应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展[J].科学技术与工程,2016,16(11):125-132.(北大核心)

4. Gong Xuepeng, Lu Qipeng,Lu guoqing. Establishment of theoretical model and experimental equipment for researching on carbon contamination of EUV multilayer mirror[C]. Proc. of SPIE, 2015, 9446: 94460W-1-94460W-7.(会议论文)

5.鹿国庆,卢启鹏,彭忠琦,龚学鹏.极紫外光学元件表面碳污染模型的建立[J].光学学报,2013,33(12):1234001-1-1234001-7.(EI)

授权实用发明专利和计算机软件著作权

1.鹿国庆.一种用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置. 2021-6-11,中国,ZL 2020 2 2504495.5.(实用新型专利)

2.鹿国庆.一种对极紫外光刻机表面去污的装置. 2021-6-11,中国,ZL 2020 2 2503200.2.(实用新型专利)

3.鹿国庆.一种光刻机的取片装置. 2020-09-29,中国, ZL202020639334.4.(实用新型专利)

4.鹿国庆.一种物理光学实验设备. 2018-5-1,中国, CN207302444U.(实用新型专利)

5.鹿国庆,沈永才.一种曲面光学镜片. 2018-1-19,中国, CN206906674U.(实用新型专利)

6.鹿国庆,基于拉曼光谱的海水温度遥测实时记录软件, 2021SR1142171, 2021-8-3.(软件著作权)

7.鹿国庆,基于拉曼光谱的海水温度自动化测量监控系统,2021SR1146954, 2021-8-4.(软件著作权)

8.鹿国庆. Zemax交互式三维光学模拟仿真设计平台. 2020SR0938093, 2020-6-19.(软件著作权)

9.鹿国庆.基于光学仿真研究的分光光度仪模拟软件. 2020SR0631707, 2020-4-20.(软件著作权)

10.鹿国庆.基于Matlab的光学实验仿真平台. 2019SR1190286, 2019-9-11.(软件著作权)

11.鹿国庆.激光雷达遥感数据处理系统. 2019SR0634228, 2019-1-2.(软件著作权)

关闭窗口

Copyright © 2006-2020 Jiangsu Ocean University. All Rights Reserved
江苏海洋大学版权所有 地址:江苏省连云港市海州区苍梧路59号 电话:0518-85895000   邮编:222005